本發明公開了一種基于氧化銦復合材料的薄膜熱電偶及其制備方法,陶瓷基底上對稱設置并相互接觸的氧化銦復合材料薄膜和氧化銦薄膜,氧化銦復合材料薄膜和氧化銦薄膜一側的陶瓷基底上設置有熱電極連接區域,另一側的陶瓷基底上對應設置引線連接區域構成基于氧化銦復合材料的薄膜熱電偶,薄膜熱電偶的工作溫度為1000~1500℃。本發明結合氧化銦和氧化鋅、氧化鍶、氧化鎂等高熔點材料的高溫穩定性和優異熱電特性,通過絲網印刷技術制備一種基于氧化銦復合材料的薄膜熱電偶,可用于極端環境下的高溫測量,在1000~1500℃下長期穩定工作。
聲明:
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