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平面往復運動噴射沉積多層復合材料的制備方法和設備

881   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:32:02
一種平面往復運動噴射沉積多層復合材料的制備方法,在坩堝內進行惰性氣體加壓使金屬熔液經過坩堝底部的孔隙噴射到沉積基板上,基板在水平面上做往復運動,同時還可以在垂直地面方向上下運動。制備的設備包括:真空爐體和處于真空爐體內的沉積基板升降機構、沉積基板、低溫惰性氣體強制冷卻裝置、惰性氣體噴射加壓裝置、坩堝噴槍組、感應加熱裝置、水平往復運動導板,處于真空爐體上的抽真空裝置、排氣閥、保護氣體進氣閥。本發明可以將多種金屬及合金,通過熔煉,噴射制備成大塊層狀復合材料,通過強制冷卻,可以獲得大塊沉積多層堆積的非晶、納米晶金屬材料。
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