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二氧化硅膜包覆的二氧化硅-金剛石復合材料及制備方法

1103   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:25:02
本發明為一種二氧化硅膜包覆的二氧化硅?金剛石復合材料及其制備方法，解決了金剛石和二氧化硅兩種材料應用限制的問題。該復合材料由芯部和表層組成，芯部為多層膜結構，每層膜是由二氧化硅和金剛石組成的混合相，表層為二氧化硅膜。該復合材料制備時，首先采用微波等離子體化學氣相沉積技術在石墨基體表面進行金剛石和碳化硅的共沉積，隨后對碳化硅?金剛石復合膜進行微波氧等離子體刻蝕，形成二氧化硅?金剛石混合相膜，繼續制備多層二氧化硅?金剛石混合相膜，形成二氧化硅?金剛石的多層膜結構，最后在二氧化硅?金剛石的多層膜結構表層制備二氧化硅膜即可。本發明復合材料制備沒有采用傳統的涂層工藝，制備的復合材料具有良好的透過性、散熱性和抗氧化性，適合作為窗口材料使用。
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復合材料
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