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設備、薄膜晶體管及其制造方法

855   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明的課題在于提供利用涂布法在所需的區域形成有功能性薄膜且特性和其壽命良好的設備、薄膜晶體管及其制造方法。課題的解決裝置為一種設備，其特征在于，具有基板、形成在上述基板上的第一電極、形成在上述第一電極的上方的功能性薄膜、和設置在上述功能性薄膜的上方的第二電極，且在上述功能性薄膜的形成區域的周圍還具有膜，所述膜含有含氟的基團與π共軛系通過環烯結構或環烷結構結合而得的化合物。
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