合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 材料制備及加工技術

> 功能材料技術

> 三維存儲器結構及其制備方法

三維存儲器結構及其制備方法

776   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供一種三維存儲器結構及其制備方法，制備方法包括：提供半導體襯底；于半導體襯底上形成疊層結構，于疊層結構中形成溝道孔及柵極隔槽，于半導體襯底內形成源極區域；于柵極隔槽的內壁上形成外層及內芯。本發明將所述柵極隔槽填充為至少包括外層和內芯的結構，可以通過內芯的填充實現器件整體應力、電阻、漏電等情況的改善，在柵極隔槽中制備柵極隔槽腔，緩解器件結構的應力，可以減小器件電阻；將三維存儲器的柵極隔槽制備成包括至少兩個子柵極隔槽上下連通設置的結構，單個子柵極隔槽的制備易于控制，可以減小其關鍵尺寸，增加溝道孔與柵極隔槽之間的距離，可以增加后續柵極層的長度，減小柵極層的電阻，提高器件速度，優化器件性能。
登錄解鎖全文
聲明：
“三維存儲器結構及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
功能材料
上一個：有機化合物及采用該化合物的電致發光器件
下一個：顏料

與 “三維存儲器結構及其制備方法” 相關技術

? 廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
? 鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
? PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
? 材料用無損檢測裝置
? 金屬探傷儀
? 金屬制品無損檢測智能設備
? 用于金屬的超聲波無損檢測設備
? 稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
? 金屬材料裂痕無損檢測設備
? 快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

相關功能材料設備推薦

新型臥式鋁屑一體式壓塊機
梯度旋轉管式爐（六溫區）
鋁塑門窗鎖孔槽加工機
鋁門窗多頭組合鉆床
套膜檢測線
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
?鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
?PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
?材料用無損檢測裝置
?金屬探傷儀
?金屬制品無損檢測智能設備
?用于金屬的超聲波無損檢測設備
?稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
?金屬材料裂痕無損檢測設備
?快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日

報告下載

1 鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的
下載:233
2 磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電
下載:129
3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方
下載:125
4 廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源
下載:122
5 磷酸鐵鋰的產業化與回收前景分析
下載:117
6 西藏鹽湖鋰資源和開發利用
下載:101
7 高倍率磷酸鐵鋰電池的研究與進展
下載:96
8 高能量密度磷酸鐵鋰電池的技術路
下載:92
9 磷酸鐵鋰材料性能改善研究
下載:83
10 回收磷酸鐵鋰性能的修復及其電池
下載:74
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1智能耳穴調節裝置
2《高強韌微納米金屬陶瓷材料關鍵技術開發與應用》——鄧瑩
3鋁箔化成反應過程中的數據管理方法
4制備碳/碳復合材料的濕法針刺工藝
5粉末冶金材料及其制備技術現狀與新動向
6改性生物炭及其制備方法和應用
7硅羥基磁珠及其合成方法、應用
8金剛石-碳化硅復合材料、制備方法以及電子設備
9石英纖維/炭纖維增強炭基復合材料坩堝及其制備方法
10鈷酸銅催化電極材料及其在硝酸根還原制氨中的應用
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX