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負熱膨脹材料Y2W3O12薄膜的制備方法

1099   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明公開了一種負熱膨脹材料Y2W3O12薄膜的制備方法。屬于無機非金屬負熱膨脹功能材料領域。本發明的負熱膨脹Y2W3O12薄膜是采用自制的Y2W3O12陶瓷靶材，利用脈沖激光沉積法制備并在沉積倉內于900－1100℃原位退火制備得到，該Y2W3O12薄膜響應溫度范圍寬，負熱膨脹性能穩定，且制備溫度低、無需淬火、熱處理工藝簡單。脈沖激光沉積法使沉積的Y2W3O12薄膜和靶材的化學成分保持良好的一致性，同時逸出粒子具有較大的能量有利于薄膜生長，原位退火后制備薄膜質量高，制備過程具有良好的可重復性、制備周期短、成本低，具有良好的應用前景。
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“負熱膨脹材料Y2W3O12薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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