合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 功能材料技術

> 自由站立金剛石厚膜用于聲表面波濾波器基板

自由站立金剛石厚膜用于聲表面波濾波器基板

866   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明屬于材料科學技術領域,涉及到無機非金屬功能材料在電子器件中的應用。其特征在于采用無襯底自由純凈金剛石厚膜,作為一種體材料應用于聲表面波濾波器中,作為其襯底材料;應用自由站立金剛石厚膜的成核面,經過表面機械及光學研磨拋光處理,作為沉積叉指換能器和壓電薄膜的表面,采用傳統的半導體器件制備工藝制備出氧化鋅/金剛石層狀結構的聲表面波器件。本發明的效果和益處是不僅利用了金剛石高彈性系數、高聲速的性能,可明顯提高器件的響應頻率,而且充分利用金剛石最高熱導率的優勢,使SAW器件具有高功率耐久性的特點。提出利用表面平整光滑的金剛石膜成核面作為沉積壓電薄膜表面的方法,解決了金剛石膜生長面難以加工的技術難題。
登錄解鎖全文
聲明:
“自由站立金剛石厚膜用于聲表面波濾波器基板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
功能材料
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX