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鐵電晶體聲表面波相速度的激光超聲檢測方法

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:02
鐵電晶體聲表面波相速度的激光超聲檢測方法，涉及功能材料的聲學檢測方法領域，為了解決鐵電晶體聲表面波傳播相速度的各向異性檢測困難的問題。采用激光在鐵電晶體表面激發出聲表面波；對鐵電晶體表面傳播的聲表面波進行檢測：激光在鐵電晶體表面形成的激光點和檢測時鐵電晶體表面的檢測點沿待測的方向分布；移動激光位置、在同一檢測點處檢測至少2個激光點對應的聲表面波，或激光位置不變、在至少2個檢測點處檢測聲表面波；將檢測得到的至少2個聲表面波信號轉換成橫坐標為激光點位置或檢測點位置，縱坐標為采集點數的等高線圖；根據等高線圖計算聲表面波的相速度。本發明適用于檢測鐵電晶體的聲表面波相速度。
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