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摻硼金剛石刻蝕的方法

1279   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:01
本發明公開了一種摻硼金剛石刻蝕的方法，涉及新型電子材料工藝技術，采用超高真空磁控濺射鍍膜機和直流電弧等離子體噴射CVD設備制備，首先采用磁控濺射法濺射鎳納米顆粒，在以鎳納米顆粒作為催化劑等離子刻蝕摻硼金剛石，制得目標產品。本發明的優點是：該多孔金剛石比較容易被加工成型，在新型電子功能材料走向實際應用的過程中，有非常關鍵的作用；該制備方法工藝簡單，易于實施，靶材使用率高、生產成本低，適于大規模的推廣應用。
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聲明：
“摻硼金剛石刻蝕的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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