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梯度界面應力調控下摻雜鈦酸鍶薄膜磁敏材料的制備方法

942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
一種梯度界面應力調控下摻雜鈦酸鍶薄膜磁敏材料的制備方法，屬于電子功能材料與器件以及薄膜材料生長領域。本發明通過構建摻雜鈦酸鍶薄膜材料與襯底間的梯度應力場與界面極化場觸發材料輸運中的強關聯效應，以實現對所生長摻雜鈦酸鍶薄膜材料磁阻系數的大幅提高。精準控制等離子體性質、薄膜與襯底間晶格失配度、薄膜與襯底材料組分，從而實現對摻雜型鈦酸鍶薄膜材料與襯底間的界面應力梯度場與界面極化場的優化設計與控制，是實現磁阻大幅提高的必要條件。本發明所獲得的一種處于梯度應力場作用下的摻雜鈦酸鍶磁場敏感材料，可應用于進一步制備磁場探測、磁傳感等電子器件方面。
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