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各向異性磁電阻坡莫合金薄膜的制備方法

720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
一種各向異性磁電阻坡莫合金薄膜的制備方法， 涉及功能材料薄膜的制備，特別是涉及制備磁電阻薄膜。本方 法是在清洗干凈的玻璃基片上或單晶硅基片上沉積鎳鐵Ni0.81Fe0.19薄膜，將(Ni0.81Fe0.19)xCr1－x層作為種子層，x值介于0.13～0.53之間；沉積的順序依次是1.0～12.0nm厚度的鎳鐵鉻(Ni0.81Fe0.19)xCr1－x、10.0～200.0nm厚度的鎳鐵Ni0.81Fe0.19和5.0～9.0nm鉭Ta。本發明由于采用體心結構的NiFeCr作為坡莫合金薄膜的一種新型種子層，其各向異性磁電阻AMR值比以傳統的Ta為種子層時明顯提高，最大可達34％，具有制備方便、不需要高溫沉積和磁場熱處理、成本低等優點。
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