本發明公開了一種新型超低損耗微波介質陶瓷材料及其制備方法,屬于電子信息功能材料與器件技術領域。本發明陶瓷材料的化學通式為Li2+a(Mg1?bXb)3YO6·cZ,其中,X為Ca2+或Sr2+,Y為Ti4+、Sn4+或Zr4+,Z為MgO、ZnO、CaF2中的任一種或其組合,0.03≤a≤0.15,0.01≤b≤0.04,0≤c≤0.15。本發明微波介質陶瓷材料的原料按照所述化學通式配料,經過第一次球磨混合,在980~1200℃下預燒,再經過第二次球磨混合,在1250~1400℃下燒結制成;其制成品的晶相為有序巖鹽結構立方相。本發明提供的微波介質陶瓷材料在性能上實現了較大提升,其相對介電常數εr在8~20之間可調,品質因數Q×f值為92000GHz~153000GHz,同時,諧振頻率溫度系數τf滿足?23ppm/℃~+5ppm/℃,并且性能穩定,能夠滿足現代微波器件的應用需求。
聲明:
“新型超低損耗微波介質陶瓷材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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