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飛秒激光真三維微納加工中心

857   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:01
本發明公開了一種飛秒激光真三維微納加工中心,沿飛秒激光產生放大系統的輸出光束方向上設置反射鏡,反射鏡與輸出光束的負向夾角為45°,沿反射后的光軸方向在反射鏡下方設置多軸聯動微動工作臺,在反射鏡和多軸聯動微動工作臺中間的光軸方向上設置聚焦透鏡,并在反射鏡上方設置CCD傳感器,飛秒激光產生放大系統、多軸聯動微動工作臺、CCD傳感器和LCD監視器連接在工控機上。該加工中心能夠加工高熔點、高硬度和高脆性等特種功能材料的微納尺度真三維結構件。
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聲明：
“飛秒激光真三維微納加工中心” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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