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PVT法氮化鋁晶體生長用坩堝材料的制備方法

853   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
一種PVT法氮化鋁晶體生長用坩堝材料的制備方法,它屬于晶體生長技術領域。本發明要解決的技術問題為氮化鋁晶體生長用坩堝材料的使用壽命短的問題。本發明稱量一定質量的碳化鉭粉、鎢粉、氧化釔粉加入三維振動混合器中,混合均勻后得到的混合粉體加入聚氯乙烯坩堝模具,通過冷等靜壓,壓制成型,置于熱壓燒結爐內抽真空后,在20~30MPa的壓力下,進行燒結處理,得到燒結后的坩堝材料用車床或線切割進行加工成型,然后置于真空燒結爐內,抽真空后,進行燒結處理,得到所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長用坩堝材料。本發明生長用坩堝材料晶體缺陷密度降低,消除高溫下TaC晶粒的異常長大現象,增加了坩堝使用壽命。
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