本發明提供了一種反應燒結碳化硅陶瓷內部缺陷的制備方法,包括以下步驟:制備兩塊形狀大小相同、表面平整的碳化硅素坯;在其中一塊多孔碳化硅素坯表面按照設計缺陷的位置涂抹惰性無機物,使涂抹惰性無機物后的成形區域與設計缺陷的形狀、大小保持一致;在預制缺陷的多孔碳化硅素坯的表面其余位置涂抹有機粘結劑,使其表面再次平整,之后與另一塊所述多孔碳化硅素坯對接貼合,確保貼合時兩者之間無空隙,再用重物壓實一段時間;對壓實后的貼合素坯置于真空燒結爐中添加足量硅進行反應燒結,之后表面清理去除殘硅。本發明的反應燒結碳化硅陶瓷內部缺陷的制備方法,能準確制備出各種形狀的設計缺陷,并且不引入其他雜質、不產生新的缺陷。
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