本實用新型提供了一種合成金剛石用石墨提純真空燒結爐充氣裝置,包括進氣總管,進氣總管的一端與爐體連接,進氣總管的另一端分別與第一支管、第二支管、第三支管和第四支管連接,第一支管和第二支管與第一高壓泵連接,第一高壓泵與氮氣罐連接,第三支管和第四支管與第二高壓泵連接,第二高壓泵與氫氣罐連接,第一支管上安裝第一手動閥,第二支管上安裝第一電磁閥,第三支管上安裝第二手動閥,第四支管上安裝第二電磁閥和質量流量計,進氣總管上安裝泄壓閥。本實用新型設有手動閥門,在停電或電磁閥出現故障時,可手動向爐內充氣,維持燒結爐正常工作。
聲明:
“合成金剛石用石墨提純真空燒結爐充氣裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)