本實用新型提供了一種高潔凈度節能型金屬熱場真空燒結爐,包括:水冷爐體、設置于所述水冷爐體內壁的保溫層、設置于所述水冷爐體內壁的金屬隔熱屏、設置于所述金屬隔熱屏內壁的金屬發熱體、設置于所述金屬發熱體之間的金屬料架;所述水冷爐體為橫向設置的管狀結構,所述金屬發熱體沿所述管狀結構的長度方向間隔設置;所述金屬發熱體通過電纜依次與變壓器以及控制柜電連接;所述水冷爐體通過管道順序連接第一球閥、羅茲泵、第二球閥、滑閥泵以及出氣管道;所述金屬隔熱屏的材料選用精軋鎢片或鉬片;所述保溫層的材料選用高純氧化鋁纖維、氧化鋯纖維或高純氧化鋁泡沫磚。
聲明:
“高潔凈度節能型金屬熱場真空燒結爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)