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石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備

883   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:33:12
本發明屬于冶金提純技術領域,特別涉及一種取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備。該方法是在惰性氣體中,將硅料熔化進行定向凝固;待凝固完成85~90%時,停止拉錠,將石墨管伸入剩余硅熔體中,向真空腔室通入惰性氣體,使剩余硅熔體在壓力差作用下進入石墨管,繼續拉錠,待坩堝上端離開加熱區后,將水冷坩堝伸至石墨管正下方,停止通入惰性氣體,對真空腔室抽真空,石墨管中的剩余硅熔體下落至水冷坩堝中冷卻凝固;切斷電源,停止加熱,坩堝中凝固得到的鑄錠為高純硅鑄錠。本發明防止了雜質反擴散,減少了工藝,提高了鑄錠的出成率,該發明設備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質,節約了生產周期和成本,適用于工業化生產。
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“石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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