調質(zhì)均質(zhì)靶板的制造方法

本發(fā)明涉及冶金及壓力加工領(lǐng)域，公開(kāi)了一種調質(zhì)均質(zhì)靶板的制造方法，該方法包括將鋼錠依次進(jìn)行壓機鍛制、退火處理、機械加工處理和調質(zhì)處理，退火處理采用包括如下過(guò)程的步驟進(jìn)行：將壓機鍛制后得到的靶板以升溫至第一溫度，并在該第一溫度下保持2～4h；將靶板升溫至第二溫度，并在該第二溫度下保持4～6h；將靶板降至第三溫度，并在該第三溫度下保持5～7h；將靶板升溫至第四溫度，并在該第四溫度下保持25～35h；將靶板降溫至350～450℃，然后降溫至200℃以下。由本發(fā)明的上述方法制造得到的調質(zhì)均質(zhì)靶板的平面組織均勻、硬度均勻且性能的各向異性小。