本方案提供一種PVD埃米金薄膜載體及其制備方法，涉及合金靶材技術領域，包括以下步驟：在基片玻璃反面激光標號；將基片玻璃依次進行超聲波清洗、烘干、消毒、等離子清洗；將基片玻璃真空鍍金屬層，所述金屬層為鈦層和/或金層；鍍層后的玻璃切割、包裝，得到PVD埃米金薄膜載體。本方案在基片玻璃在真空環境中鍍上一層純鈦金屬阻擋層阻隔玻璃中的微量元素對待檢標志物的破壞；再鍍上純金金屬層，金具有高電子密度、介電特性和催化作用，能與多種生物大分子結合，且不影響其生物活性。