權利要求書: 1.一種耐高頻振動的單晶硅片,其特征在于:包括墊片(2);所述墊片(2)上對稱地設有外殼(1),外殼(1)一側對稱地開設有圓孔,便于裝置整體的固定;所述外殼(1)中安裝有具有彈性緩沖結構的減振機構(4),減振機構(4)間卡持有硅片基體(3),防止硅片基體(3)在高頻振動的工作環境中產生摩擦受損。2.根據權利要求1所述的一種耐高頻振動的單晶硅片,其特征在于:所述減振機構(4)包括水平緩沖組件(41),墊片(2)頂部邊沿上對稱地固定有水平緩沖組件(41),硅片基體(3)架設在水平緩沖組件(41)上,墊片(2)上還對稱地固定有豎直緩沖組件(42),硅片基體(3)卡持在豎直緩沖組件(42)間。3.根據權利要求2所述的一種耐高頻振動的單晶硅片,其特征在于:所述水平緩沖組件(41)包括托板(411),墊片(2)上對稱地固定有托板(411),托板(411)一側通過對稱設置的第一彈簧(412)與外殼(1)彈性連接,托板(411)遠離硅片基體(3)一側固定有限位板(413),限位板(413)與外殼(1)滑動插接。4.根據權利要求2所述的一種耐高頻振動的單晶硅片,其特征在于:所述豎直緩沖組件(42)包括夾板(421),墊片(2)頂部對稱地固定有夾板(421),所述外殼(1)頂部對稱地滑動安裝有柱頭(422),柱頭(422)底端固定有卡塊(423),卡塊(423)頂部與外殼(1)間安裝有第二彈簧(424),卡塊(423)與夾板(421)配合。5.根據權利要求4所述的一種耐高頻振動的單晶硅片,其特征在于:所述卡塊(423)呈正十字狀,卡塊(423)與夾板(421)頂部開設的十字槽插接。 說明書: 一種耐高頻振動的單晶硅片技術領域[0001] 本實用新型涉及單晶硅加工技術領域,具體為一種耐高頻振動的單晶硅片。背景技術[0002] 單晶硅片即硅的單晶體,是一種具有基本完整的點陣結構的晶體,不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料,用于制造半導體器件、太陽能電池等,用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成。[0003] 單晶硅片在實際使用時往往會靠近電機、風扇等會發出高頻振動的裝置,而由于現有的單晶硅片往往缺少起到減震作用的緩沖結構,在承受高頻振動時會與硬質的外部殼體部分產生摩擦,長期
聲明:
“耐高頻振動的單晶硅片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)