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冷氫化系統及多晶硅生產系統的制作方法

696   編輯:中冶有色網   來源:寧夏潤陽硅材料科技有限公司  
2023-11-01 11:17:13
1.本技術涉及多晶硅生產技術領域,特別是涉及一種冷氫化系統及多晶硅生產系統。 背景技術: 2.隨著全球工業的大幅發展,能源需求日益加劇。但是傳統的石油能源逐漸枯竭,且具有諸多缺點,例如:儲存量有限,開采會對環境產生巨大損傷,燃燒產物具有大量有害物質等,已無法滿足當今工業的發展和要求,因此,探索一種高效、可行的替代能源,已是迫在眉睫,在眾多能源替代方案中,太陽能以其綠色、和平、安全、儲量豐富等諸多優勢成為當下研究的熱點,有望成為下一代能源,太陽能作為最豐富的可再生能源,與其他能源相比具有清潔性、安全性、廣泛性、資源充足性和潛在的經濟性等優點。充分利用太陽能,對在低碳模式下實現可持續發展具有重要的經濟和戰略意義。而多晶硅是生產太陽能光伏電池的主要原料。 3.多晶硅是太陽能光伏產業的主要原料。目前,改良西門子法是生產多晶硅的主流工藝,但是改良西門子法生產多晶硅的過程中會產生大量的中間產物,即對環境及人體有較大危害的四氯化硅,據統計,每生產1kg多晶硅會產生13kg至16kg的四氯化硅,隨著近年來我國多晶硅生產規模的急劇擴大,液體副產物四氯化硅產生的數量將是一個龐大的數字,如何處理數量龐大的四氯化硅,成為制約多晶硅產業發展的巨大瓶頸,如果使四氯化硅高效的轉化為具備高附加值的三氯氫硅,將有力的促進多晶硅產業的進一步發展。 4.如何保證四氯化硅全部轉化為三氯氫硅是制約多晶硅生產規模擴大的瓶頸。為了循環利用副產物四氯化硅,現在國際上通常采用兩種方法對四氯化硅進行轉化,一種是高溫熱氫化法,就是將四氯化硅與氫氣在900~1200℃的溫度下在氫化爐內部反應以生成三氯氫硅;另外一種方法為冷氫化法,主要是將四氯化硅與氫氣混合后再與硅粉和催化劑在500~600℃下的溫度通過流化床反應器生成三氯氫硅。 5.冷氫化工序是改良西門子法生產多晶硅的重要工序之一。通常的冷氫化工序是將四氯化硅與氫氣混合加熱氣化,加熱至550℃,通入流化床與硅粉發生反應生成三氯氫硅的過程。常用的氣化方式主要是通過臥式氣化器(如中國發明專利201610284721.9公開了一種多晶硅冷氫化法中四氯化硅的汽化方法及汽化裝置)將四氯化硅與氫氣混合加熱氣化,臥式氣化器內高溫高壓的氫氣容易對臥式氣化器的管壁造成氫損傷(或稱氫脆,高溫高壓的氫對鋼的損傷主要是因為氫以原子狀態滲入金屬內,并在金屬內部再結合成分子,產生很高的壓
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