1.本實用新型涉及一種傳動系統,尤其涉及一種用于硅片分選機的傳動系統。
背景技術:
2.he-wi-04型硅片分選機是在線檢測硅片外觀尺寸、電性能和外觀缺陷的集成型檢測設備,該設備將各個檢測模組排列在檢測區,通過傳動系統,帶動硅片通過各個檢測模組進行檢測。為了保證檢測的準確性,對硅片在傳動時的平穩程度要求較高。目前傳動系統配備的為直徑3mm的圓皮帶,在檢測邊寬≤156mm*156mm尺寸的硅片時,具有穩定且減少遮擋硅片面積的優點,但是在檢測≥182mm*182mm尺寸的硅片(后續簡稱大尺寸硅片)時,由于目前硅片常規厚度在150μm~160μm,硅片厚度薄,尺寸大,圓皮帶接觸面積小,導致硅片在傳動的過程中抖動,影響檢測效果。
3.因此,檢測大尺寸硅片的he-wi-04型硅片分選機需要將傳送皮帶由圓皮帶更換成寬度8mm~10mm的扁皮帶,以增加傳動過程中和硅片的接觸面積,增強硅片在傳動過程中的平穩程度。但是,由于圓皮帶和扁皮帶外觀完全不同,舊有的圓皮帶傳動系統的結構部件不能匹配扁皮帶,現有硅片分選機缺少匹配扁皮帶的傳動系統。
技術實現要素:
4.實用新型目的:本實用新型的目的是提供一種平穩運輸、能夠調節松緊度、用于硅片分選機的傳動系統。
5.技術方案:本實用新型提出了一種用于硅片分選機的傳動系統,包括數個與硅片分選機不同檢測裝置相對應的傳動裝置,各傳動裝置首尾對應布置,高度平齊,在相應驅動裝置的驅動下同向運轉;所述各傳動裝置包括皮帶以及固定安裝在硅片分選機上的皮帶定位支架、主動帶輪和從動帶輪;所述皮帶為扁平形皮帶;所述皮帶定位支架安裝有可調整位置、改變皮帶松緊度的限位帶輪,限位帶輪支撐于所述皮帶的下半圈。
6.優選地,所述皮帶定位支架設有上下多個定位孔,所述限位帶輪安裝于任一定位孔中。
7.優選地,所述皮帶定位支架為l型結構,一端設有長圓孔,通過長圓孔安裝在分選機上表面。
8.優選地,所述皮帶定位支架安裝于傳動裝置兩端靠近主動帶輪、從動帶輪處,其中一端皮帶定位支架的數量為兩個,組合安裝于皮帶一側,組合使用擴大皮帶調節范圍和層級。
9.優選地,所述同一端的兩個皮帶定位支架相對設置,一個內側安裝有所述限位帶輪,一個外側安裝有所述限位帶輪,利用不同的孔位能夠使皮帶具有不同的松緊度,可以根據需要進行調整。
10.優選地,所述各傳動裝置還包括設于皮帶中部的導
聲明:
“用于硅片分選機的傳動系統的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)