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基于3D打印成型的AlN陶瓷粉體制備方法與流程

576   編輯:中冶有色網   來源:中國工程物理研究院材料研究所  
2023-10-12 14:15:58
一種基于3d打印成型的aln陶瓷粉體制備方法 技術領域 [0001] 本發明屬于粉體制備領域,具體地講,是涉及一種基于3d打印成型的aln陶瓷粉體制備方法。 背景技術: [0002] 氮化鋁(aln)陶瓷具有高的熱導率、優良的電絕緣性能以及與硅接近的熱膨脹系數,是大規模集成電路、半導體模塊電路和大功率器件的散熱材料和封裝材料。此外,aln還具有和絕大多數有色金屬不浸潤的特點,可用作高級耐火材料、熱電偶保護管等。高性能aln陶瓷的廣泛應用依賴于高純度、低成本aln粉體的宏量供給。目前國內高純aln粉體主要依賴進口,價格十分昂貴,使得aln陶瓷材料的應用范圍受到了極大制約。 [0003] aln陶瓷粉體的合成方法中,直接氮化法和碳熱還原氮化法是有工業化發展潛力的兩種方法。直接氮化法的反應溫度較低(1200℃以下),但需要使用高純超細的鋁粉為原料,鋁粉低溫熔化(約670℃)形成的鋁液和表面氮化形成的aln層會阻礙氮氣向顆粒內部擴散,難以獲得高純度的al粉,加之鋁粉易被氧化和易燃易爆,使得該方法的推廣受到限制;碳熱還原氮化法涉及到高溫氣-固反應(溫度高達1800~1850℃),難點是實現合成反應的充分完成和雜質含量的控制。目前還未見基于碳熱還原氮化法的aln粉體產品上市,其主要原因有二:一是粉體合成量放大以后容易出現物相不純的現象,其原因是表面的粉體對氣體向內擴散有屏蔽阻擋效應,導致內部粉體的氣-固反應不完全;二是缺少適用于粉體宏量合成的設備,現有設備要么爐膛尺寸較小、單次裝粉量非常有限,要么存在爐內氣流不可控和陶瓷粉體被污染的問題。為了獲得高純度的aln粉體,科技人員想出了各種各樣的解決方法,例如,mao xi-xi等(doi:10.15541/jim20170067)提出引入發泡法制備孔隙率大于80%的原料坯體,可顯著提高氣-固反應的效率;專利cn105884372a通過采用溶膠-凝膠法先制備鋁/碳復合粉體,然后1400~1500℃氮化可獲得含碳aln粉體。這些方法雖然都在一定程度上提高了aln粉體的純度,但還存在坩堝沾染粉體、氣流控制較難、設備要求較高、單次合成量較少等大量問題,不適于宏量合成制備高純度aln陶瓷粉體,因此,提供一種解決上述難題的方法,是提高aln陶瓷材料的應用范圍迫在眉睫的事情。 技術實現要素: [0004] 本發明的目的在于提
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