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電遷移測試結構及測試方法

824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:09
本發明提供一種電遷移測試結構及測試方法，采用由多個虛擬金屬塊相互間隔并環列形成的虛擬金屬環來圍繞待測金屬線，為待測金屬線電遷移產生的金屬擠出處提供了擠出空間以及降低了失效分析制樣平整度要求；而且虛擬金屬環的每個虛擬金屬塊均作為一個漏電流測量端，金屬擠出處與對應的虛擬金屬塊連接時會直接導出測試結構，而不會形成超高的電流密度而發生電爆炸，從而獲得了金屬擠出處的初始形貌，對于分析電遷移現象造成金屬過早擠出的原因具有較高幫助，對于提高集成電路的可靠性具有較高的實用價值。
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