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失效分析顯微鏡

873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本實用新型提供了一種失效分析顯微鏡，包括：會聚超透鏡和顯微系統，所述顯微系統包括顯微物鏡；所述會聚超透鏡位于所述顯微系統外側，并與所述顯微物鏡位置對應；所述會聚超透鏡遠離所述顯微物鏡的一側用于放置待測樣品，所述會聚超透鏡用于對所述待測樣品所出射的激發光線進行會聚，并將會聚的激發光線射向所述顯微物鏡。通過本實用新型實施例提供的失效分析顯微鏡，利用會聚超透鏡對待測樣品所出射的激發光線進行會聚，可以增大系統數值孔徑，能夠提高光學顯微鏡的分辨率，可以用來檢測待測樣品的表面缺陷或破損，實現失效分析。并且，使用超表面作為會聚光線的會聚超透鏡，可以有效地減小整體的尺寸，減輕整體的重量。
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