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半導體激光器靜電失效分析方法

776   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開了一種半導體激光器失效分析方法，該方法包括以下步驟：對半導體激光器從低電壓到高電壓逐級進行ESD測試，通過比較半導體激光器ESD測試前后的光電特性曲線判斷該半導體激光器是否失效，并確定其失效等級；使用高倍光學顯微鏡對失效半導體激光器各部位進行外觀失效檢查，采集并存儲異常部位的圖像；借助SEM觀察所述半導體激光器出光面的損傷細節，采集并儲存相應的圖像；對所述半導體激光器的有源層損傷情況進行測試。半導體器件十分容易受到靜電放電作用而失效，本發明對找到其失效機理進而對器件進行改進，可以準確定位其失效部位，得到失效機理，最終達到改進器件提高性能的目的。
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聲明：
“半導體激光器靜電失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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