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基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法

1218   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明屬于溫度測量技術領域，具體為一種基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法。本發明利用橢偏儀測量被測薄膜的折射率譜線與標準折射率譜線，將兩者比較，采用最小二乘法得到最佳匹配曲線，從而根據標準譜線所對應的溫度值得到被測薄膜的溫度值。本發明可非直接、無損耗地測量固體薄膜實時或非實時溫度。測量過程中對薄膜材料沒損傷，當實驗條件不發生明顯變化時，該方法具有較高的置信度。當標準折射率譜的溫度間隔取得較小時，該方法具有較高的精度。
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聲明：
“基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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