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斷層攝影檢查裝置以及方法

1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:23
本發明公開一種能無損的檢查檢查對象的表面及內部的斷層攝影檢查裝置及方法。所述斷層攝影檢查裝置，包括：光源，其產生向檢查對象的內部照射的測量光；分束器，其將所述測量光分割為參考光和測量光，將參考光照射至參考鏡，并將測量光照射至檢查對象，使在參考鏡反射的參考反射光和在檢查對象散射以及反射的信號反射光重疊來產生干涉光；掃描部，其將在所述分束器分割的測量光引導至檢查對象的檢查位置；散射濾波器，其安裝于在檢查對象反射的反射光的路徑上，使在檢查對象反射的反射光散射，使引導至分束器的信號反射光的強度增加；以及光電檢測器，其檢測所述干涉光，以獲得檢查對象的內部影像信號。
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聲明：
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