合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 調節桶形反應器清洗系統的方法

調節桶形反應器清洗系統的方法

890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:17
一種用于調節被用于在半導體基片上化學汽相淀積材料層的桶形反應器的清洗系統的方法,包括在多個清洗管道的每一個中放置旋轉式流量計和可調節的流量控制閥門。監測管道中清洗氣體的流速和調節閥門保證氣流都向桶形反應器的方向流動,使得不發生反應氣體被吸入清洗系統的虹吸效應。桶形反應器中氧氣的存在也得到了監測,且調節流速減少以氧氣的存在。調節流速以保證在一個化學汽相淀積周期完成之后從桶形反應器中完全清除反應氣體。降低淀積材料層中金屬沾污程度得以實現。
登錄解鎖全文
聲明：
“調節桶形反應器清洗系統的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：聚烯烴樹脂組合物和含鋅水滑石顆粒
下一個：博來霉素族衍生物及其抗癌活性

與 “調節桶形反應器清洗系統的方法” 相關技術

? 不使用鉻的鋁和鋁合金的陽極化后密封方法
? 鋁合金三價鉻鍍黑鉻的鍍層結構
? 鋁合金門窗切斷裝置
? 高合格率儲能箱鋁合金水冷板制備方法
? 新型可熱成型免淬火鋁合金薄板的制備方法
? 全固態電池復合負極片的制備方法以及制得的負極片
? 抗高溫蠕變的高強高導銅鎳硅鈷鎂銀合金及其制備方法
? 太陽電池及光伏組件
? 從螯合劑沉淀貴金屬渣中回收金銀鉑鈀的方法
? 微合金化碲銅合金及其制備方法和應用

相關化學分析設備推薦

新型材料高溫拉力試驗機
相控陣水浸自動C掃查系統
磁粉探傷儀
土壤溫度測試儀
微粒檢測儀 多氣體檢測儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?不使用鉻的鋁和鋁合金的陽極化后密封方法
?鋁合金三價鉻鍍黑鉻的鍍層結構
?鋁合金門窗切斷裝置
?高合格率儲能箱鋁合金水冷板制備方法
?新型可熱成型免淬火鋁合金薄板的制備方法
?全固態電池復合負極片的制備方法以及制得的負極片
?抗高溫蠕變的高強高導銅鎳硅鈷鎂銀合金及其制備方法
?太陽電池及光伏組件
?從螯合劑沉淀貴金屬渣中回收金銀鉑鈀的方法
?微合金化碲銅合金及其制備方法和應用

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX