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與微機電系統工藝兼容的參比電極的制備方法

922   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:36
本發明涉及與微機電系統(MEMS)工藝兼容的參比電極的制備方法,首先將設計好的版圖經微電子工藝形成掩摸板,利用光刻方法形成所需微電極或電極陣列,即可組成電化學測試系統。本發明以貴金屬金Au,鉑Pt為電極材料,采用微機電系統工藝制作成超微薄膜電極陣列以在生化傳感器中的應用為實施例實現了與微機電系統工藝兼容的參比電極的制備方法及其應用。本發明具有工藝流程簡便、快速、重復性好等優點,易于實現高精度復制和規?；a,非常適宜于微系統生物酶傳感器陣列的制作,適用各種電化學兩電極、三電極器件或陣列芯片的參比電極的制備,將在生化傳感器、生物芯片以及微系統集成芯片研究開發領域中得到廣泛應用。
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“與微機電系統工藝兼容的參比電極的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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