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氣體傳感器

1083   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:27
一種用于在包括氫或含氫物質的氣體中檢測至少一種非含氫物質的場效應氣體傳感器(1)。該場效應氣體傳感器包括：半導體層(2，3)，其具有一個表面；至少一個歐姆接觸(8)，其接觸該半導體(3)；第一電子絕緣層(7)，其覆蓋該半導體層的該表面的至少一部分；第二絕緣層(11)，其包括一種對氫或含氫物質基本呈化學惰性的材料，該第二絕緣層接觸該第一電子絕緣層(7)和該半導體層(3)至少之一；至少一個電氣接觸(12)，其接觸該第二絕緣材料(11)且包括一個導電、半導電和/或離子傳導層。該場效應氣體傳感器被配置為使得所述至少一種非含氫物質與所述至少一個電氣接觸的至少一部分的相互作用影響該導電、半導電和/或離子傳導層(12)的功函以及/或者該半導體層(3)中的電場，由此該場效應氣體傳感器的電流-電壓(I-V)或電容-電壓(C-V)特性被改變，其中I-V或C-V特性的改變提供了關于所述至少一種非含氫物質在該氣體中的存在的信息。該場效應氣體傳感器在EGR(廢氣再循環)應用中的用途。一種對氫基本呈化學惰性的材料在場效應氣體傳感器中的用途。
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