本發明公開了一種銀-鍺-硅異質分級結構陣列及其制備方法和用途。陣列為六方排列的硅微米六棱柱陣列,組成六方排列的硅微米六棱柱陣列的硅微米六棱柱上置有其表面修飾有銀納米顆粒的鍺納米錐;方法為先將硝酸鎳溶液和氧化石墨烯溶液混合得混合液,再將使用光刻和深硅刻蝕技術獲得的六方排列的硅微米六棱柱陣列置于混合液中浸泡,得到其表面修飾有硝酸鎳的六方排列的硅微米六棱柱陣列,之后,先對其表面修飾有硝酸鎳的六方排列的硅微米六棱柱陣列使用化學氣相沉積法于其上沉積鍺納米錐,再將其上置有鍺納米錐的六方排列的硅微米六棱柱陣列置于硝酸銀溶液中浸泡,制得目的產物。它可作為SERS的活性基底,廣泛用于環境、化學、生物等領域的快速檢測。
聲明:
“銀-鍺-硅異質分級結構陣列及其制備方法和用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)