一種電子級水的集成膜過程生產工藝與過程,以自來水為原水,依次經過預處理、一級純水系統、二級純水系統和終端膜過濾精處理四個組成部分而制得電子級超純水。其中,預處理單元主要含有砂濾、超濾、活性炭吸附和納濾,一級純水系統主要由反滲透、膜脫氣、電去離子、硼選擇性離子交換樹脂等單元組成,二級純水系統主要由紫外燈氧化和拋光混床樹脂組成,終端膜過濾則采用拋光反滲透膜處理。該制水系統可實現高效、清潔、可靠的非化學再生型的超純水生產,不排放環境危害性廢水,且可有效地去除雜質硼,制水系統的成本降低,水利用率得到提高,終端過濾更安全可靠。
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