本發明提供了一種光電行業廢蝕刻液資源化回收利用方法,包括如下步驟:廢蝕刻液主要成分是磷酸、硝酸和醋酸;利用廢蝕刻液中各成分沸點不同來分離醋酸和硝酸,蒸發溫度控制在70~95℃,采用蒸汽管間接加熱,硝酸、醋酸和水以混合蒸汽的形式分離出來,余下的則為磷酸濃縮液;本發明提出了一種資源化綜合利用的工藝方案:廢鋁蝕刻液通過減壓蒸餾、過濾、樹脂吸附、中和反應、冷卻結晶、離心分離和烘干等工序,可以生產出滿足國家和行業質量標準的磷酸、磷酸氫二鈉、醋酸和硝酸鈉產品,滿足危險廢物鑒別法律法規中不屬于危險廢物的要求,可免于危險廢物鑒別,能直接進行銷售。
聲明:
“一種光電行業廢蝕刻液資源化回收利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)