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晶體硅清洗方法

744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:45:16
本發明實施例公開了一種晶體硅清洗方法，該方法包括：將晶體硅置于純水中進行超聲或兆聲加熱預清洗；將晶體硅置于混合酸溶液中進行腐蝕；采用純水對所述晶體硅進行沖洗；將所述晶體硅烘干。本發明所提供的晶體硅清洗方法，采用物理清洗和化學清洗相結合的方式對晶體硅進行清洗，能有效地去除晶體硅(尤其是回收料)表面的雜質和顆粒，而且可減少化學藥液的用量，減小化學藥液對人、設備及環境的危害，減輕化學藥液對晶體硅的腐蝕損耗，減輕后續對廢液的處理工作，從而可降低清洗成本。
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