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單晶硅外延片生產用廢氣處理系統

1162   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:36:45
本發明公開了一種單晶硅外延片生產用廢氣處理系統，包括儲氣罐、吸附池、燃燒室、暫存罐和分離罐，儲氣罐的側壁上連接有排廢管和排氣管，排氣管上連接有曝氣管，且曝氣管置于吸附池內，吸附池內裝有用于吸附氨氣的溶液，吸附池連接有氨氣提純裝置，吸附池上設有燃燒室，儲氣罐安裝有與燃燒室連通的液體過濾裝置，吸附池內還設有伸入燃燒室的氫氣傳送管，燃燒室一側依次連接有暫存罐和分離罐，分離罐內設有過濾機構。本發明可提高氨氣回收的純度，通過燃燒室可燃燒多余的氫氣，利用氫氣提高燃燒室的溫度，同時利用高溫燃燒三甲基鎵，使三甲基鎵燃燒，然后對燃燒后的氣體進行處理，以防止三甲基鎵直接排放造成的危害。
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