本發明涉及一種物料的回收方法,特別涉及一種線切割工藝中砂漿的回收方法。該線切割工藝中砂漿的回收方法,其特征是:包括如下步驟:舊砂漿通過物理旋流分離器分為固體流A和液體流B;固體流A通過分離裝置分為輕濾渣C和重濾渣D,將重濾渣D過濾得到濾渣E,將濾渣E中加入酸溶液而后加水清洗,分離得到固體顆粒F;將固體顆粒F中加入氫氧化鈉水溶液反應而后加水清洗,分離出固體顆粒烘干得到碳化硅;將碳化硅與液體流B攪拌均勻后回到線切割機上使用。因此,本發明的有益效果是,利用離心分離和化學清洗,將廢砂漿中的雜質清除得到合格的碳化硅和切割液重新使用,很大程度地降低了硅片加工的成本,也避免了廢砂漿對環境的污染。
聲明:
“線切割工藝中砂漿的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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