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廢酸液循環使用的工藝

1110   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:46:55
一種廢酸液循環使用的工藝，將無法達到半導體工業要求的一廢酸液經過以下新工藝產生符合半導體工業需求的高純度硫酸，供半導體工業使用，步驟包括：將該廢酸液導入一分解爐中，產生SO2氣體；接著將SO2氣體通過一含有一催化劑的轉換塔，使SO2氣體轉換成SO3氣體；接著將SO3氣體移至一吸收塔中與硫酸及水混合，產生一發煙硫酸，再將該發煙硫酸通過薄膜蒸餾法，產生高純度且無金屬的SO3氣體，再加入一惰性氣體，接著將稀釋的SO3氣體與高純度稀硫酸混合，并過濾除去其固體雜質，即得一半導體級硫酸。
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