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硅晶片蝕刻廢水處理系統

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:29:59
本實用新型涉及一種硅晶片蝕刻廢水處理系統，所述硅晶片蝕刻廢水處理系統包括：A)與工作槽相連通以接收工作槽中的蝕刻廢水從而分離出固體Si和殘余廢液的固液分離裝置；B)用于接收所述殘余廢液的酸再生與硅再生系統，所述酸再生與硅再生系統與所述固液分離裝置相連通；C)與所述酸再生與硅再生系統相連通以接收所述酸再生與硅再生系統導出的含固體Si、氣體HF及多余H2SiF6溶液的混合物的減壓蒸餾裝置，所述減壓蒸餾裝置還與所述固液分離裝置相連通；及D)與所述減壓蒸餾裝置以及工作槽相連通的酸性吸收塔。本實用新型實現了硅晶片蝕刻廢水循環利用，從而減少酸腐蝕溶液的消耗，消除酸腐蝕廢液的產生并避免有毒廢氣的排放，從而提供保護環境并提高了經濟效益。
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聲明：
“硅晶片蝕刻廢水處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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