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從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法

809   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 04:28:05
本發明涉及一種從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步驟:廢切削液經常溫下攪拌后,分離得固體和液體;固體加入純水攪拌,打碎,加入堿液進行反應,再進入離心分離裝置,得到碳化硅液流;加入酸液進行反應,再進入離心分離裝置,得到干凈的碳化硅液流。經過清洗后,進入烘干機,烘干,風力分級,篩選后包裝。固液分離后的液體部分,加入脫色劑和助濾劑,進入機械分離,分離出的液體中再次加入脫色劑和助濾劑,進行機械分離,經過離子交換系統過濾脫去鹽分后,經四效蒸發系統脫去水分,即得到聚乙二醇切削液;本發明避免了硅片切削廢液直接排放對環境造成的污染,同時還有效降低了硅片切割時的生產成本。
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