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電沉積處理裝置及方法

1444   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:32:38
本發明提供一種電沉積處理裝置及方法,其可以將由電沉積產生的處理液中的金屬離子濃度降低到能夠向外部排放的水平,而且由半導體制造裝置產生的廢水量即使較多,也能夠進行處理。電沉積處理裝置具有:陰極(3),其使被處理水中的金屬離子以金屬的形態析出;陽離子交換膜(4),其與陰極(3)相向配置;以及陽極(6),其通過介入陽離子交換體(5)而被設置為與該陽離子交換膜(4)相對置;其中,將被處理水供給至在陰極(3)和陽離子交換膜(4)之間的空間內。
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