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襯底及其回收再利用的方法

836   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:43:38
本發明提出了一種襯底及其回收再利用的方法，其中一種能夠回收再利用的襯底，包括：生長襯底和預置轉換層，所述預置轉換層能夠將所述生長襯底轉換為反射襯底；其中一種襯底進行回收再利用的方法，包括以下步驟：所述生長襯底依次外延生長所述預置轉換層和所述功能層，利用腐蝕液選擇性消除所述預置轉換層，所得的所述生長襯底經過表面處理步驟之后，進行再利用，所得的所述功能層經過表面處理步驟之后，通過沉積、光刻、刻蝕和蒸鍍制備介質層和銀鏡，通過電鍍方式制備銅襯底。本發明的生長襯底可以重復利用，節省成本；同時生長襯底的As不會帶入后續工藝流程，降低工業廢水的污染治理成本，使得其具有明顯的技術先進性和良好的經濟效益。
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聲明：
“襯底及其回收再利用的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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