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無砷化制造發光器件芯片的方法

977   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:40:42
本發明提出了一種無砷化制造發光器件芯片的方法，包括如下步驟：生長襯底依次外延生長預置轉換層、外延層N區、有源區和外延層P區；利用腐蝕液腐蝕預置轉換層，通過機械牽引的方式整體分離外延層N區、有源區和外延層P區；將整體分離后獲得的外延層N區經過表面處理步驟之后，通過第二鍵合介質結合功能襯底；經過光刻、蒸鍍和剝離，或經過蒸鍍、光刻和刻蝕分別在外延層N區和外延層P區形成N面電極和P面電極。本發明的生長襯底的As不會帶入發光器件制備的后續工藝流程，降低工業廢水的污染治理成本，同時生長襯底可以重復利用，降低生產成本，使得其具有明顯的技術先進性和良好的經濟效益。
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聲明：
“無砷化制造發光器件芯片的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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