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晶元研磨廢水的回用處理工藝

1194   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:15:04
本發明公開了一種晶元研磨廢水的回用處理工藝，包括如下步驟：將晶元研磨廢水排入收集槽；收集槽內的液體經調節池進入pH調整池進行處理；pH調整池處理后的液體進入混合反應池進行處理；混合反應池處理后的液體進入絮凝反應池進行處理；絮凝反應池處理后的液體進入沉淀池進行處理；沉淀池處理后的液體經UF給水箱進入砂濾器進行處理；砂濾器處理后的液體進入UF裝置進行處理；UF裝置處理后的液體進入處理水箱待回用。本發明可對晶元研磨廢水進行有效處理，處理后水質滿足生產回用需求，可實現零排放，全回收。
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聲明：
“晶元研磨廢水的回用處理工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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