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多晶硅生產廢氣及清洗廢水處理系統

957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:30:40
本申請涉及一種多晶硅生產廢氣及清洗廢水處理系統，氮化硅瓷環清洗設備的堿性廢液出口連接有緩存罐，緩存罐的出口與淋洗塔的洗滌水進口相連，儲液槽內設置有隔擋板，將儲液槽分隔為接收地槽和循環槽，接收地槽的進口與淋洗塔底部的洗滌水出口相連，隔擋板開設有開口，開口罩設有濾網，循環槽的出口與緩存罐的進口相連，述緩存罐和循環槽中的一者安裝自動加藥裝置，自動加藥裝置包括儲藥罐和pH檢測器，二者通過控制模組電連接。上述方案能夠將氮化硅瓷環清洗后的堿性廢液作為洗滌水用于淋洗廢氣，減少氫氧化鈉原料的使用量，從而降低廢氣的處理成本，同時，洗滌水在每次循環前均通過沉淀過濾，從而能夠較大程度上避免循環管道被堵塞。
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“多晶硅生產廢氣及清洗廢水處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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