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半導體工業廢水處理技術及回收利用工藝

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:02:55
本發明公開了一種半導體工業廢水處理技術及回收利用工藝，其工藝步驟如下：該半導體廢水主要分三大類：包括含銅，鎳，錫重金屬廢、含氟離子廢水，其處理工藝流程如下：首先將切割研磨硅片產生的廢水和純水系統反洗及RO濃水，分流單獨處理，重金金屬廢水和含氟離子廢水集中單獨處理后再集中處理，合格達到半導體廢水排放標準再排放；研磨切割廢水單獨處理后合格部分回收利用。有效的解決了現有技術中的缺陷，大大提高了該工藝效率。
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聲明：
“半導體工業廢水處理技術及回收利用工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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