本發明涉及一種三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法,所述三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法,包括如下步驟:(1)將化合物1與MCl4進行反應,制備化合物2;(2)將化合物2與HNR1R2進行反應,制備化合物3;(3)將化合物3與化合物4進行反應,制備所述三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物。上述合成方法通過合理設置各反應步驟,能夠有效提升合成的收率,且原料安全易得,避免使用丁基鋰,既大大提高反應的安全系數,又避免在反應中引入雜質金屬,便于產物的純化,能夠滿足半導體產業對其前驅體源純度的要求。同時操作簡單,無需對中間體進行分離,路線綠色環保,適合工業化放大生產。
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