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三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法

824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:32:08
本發明涉及一種三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法，所述三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法，包括如下步驟：(1)將化合物1與MCl4進行反應，制備化合物2；(2)將化合物2與HNR1R2進行反應，制備化合物3；(3)將化合物3與化合物4進行反應，制備所述三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物。上述合成方法通過合理設置各反應步驟，能夠有效提升合成的收率，且原料安全易得，避免使用丁基鋰，既大大提高反應的安全系數，又避免在反應中引入雜質金屬，便于產物的純化，能夠滿足半導體產業對其前驅體源純度的要求。同時操作簡單，無需對中間體進行分離，路線綠色環保，適合工業化放大生產。
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聲明：
“三(二烷胺基)環戊二烯基金屬配合物的合成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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