一種片上電可調高品質薄膜微光學器件的制備方法,包括在薄膜表面鍍金屬層、飛秒激光選擇性燒蝕金屬膜、化學機械拋光、表面鍍介質膜封裝以及電極制備等步驟。本發明方法制備的片上微光學器件具有極高的表面光潔度,極低的光學損耗,并且能通過電極進行電光調制或電熱調制。該方法適用于各種片上薄膜(包含但不限于鈮酸鋰單晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金剛石薄膜等)上制備高品質的電可調微光學結構(包含但不限于微環腔、光波導及其耦合器件)。
聲明:
“片上電可調高品質薄膜微光學器件的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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