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射束檢測構件及使用該構件的射束檢測器

690   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:29:13
本發明提供一種射束檢測構件及使用了該構件的射束檢測器,能夠高精度且長期穩定地檢測放射光束和軟X線射束等的位置及其強度分布,還有它們時間的變化,能夠用比現有的檢測裝置更低的成本制造。用于檢測射束的位置和強度的射束檢測構件(2),照射射束的射束照射部由多晶金剛石(C)膜(4)構成,該多晶金剛石(C)膜含有X/C=0.1～1000PPM至少選自硅(SI)、氮(N)、鋰(LI)、鈹(BE)、硼(B)、磷(P)、硫(S)、鎳(NI)、釩(V)中的一種或兩種以上的元素(X),且具有當向該多晶金剛石膜(4)照射上述射束時發光(8)、(8A)的發光功能。通過這種射束檢測構件(2)和觀測上述發光現象的發光觀測裝置(3)、(3A)構成射束檢測器(1)。
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